咨询电话:027-51821007
咨询热线
美国 Cascade EPS探针台
	

	产品型号:EPS系列 

	品牌:Cascade 

	价格:面议

	产地:美国




仪器简介:
	Cascade Microtech 的 EPS系列测量平台是一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的
	探针台,解决了一系列的测量难题。该探针台采用了一种模块化设计,提供了众多的配置可能性,旨在满足诸如
	单切晶片至 150mm 晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。您可以通过确
	定最适合自己当前需要的 EPS模块来设计特有的探针台,或对自己现有的 EPS进行升级以满足未来的测量需求。

	优越的应用灵活性使得EPS能满足DC和RF测量、器件和晶圆表征测试(DWC)、失效分析(FA)、亚微米探测、MEMS
	和光学工程测量;EPS也能用作一个灵活的探头卡,实现wafer级的可靠性应用(WLR),能同时配备多达20个探针座。


技术参数:

	基座			基本尺寸			Z轴可移动范围
	标准平台		490mm x 490mm×480mm			10mm
	X-Y-θ平台		XY范围				最小步长 θ范围 晶圆范围
	EP6标准平台	155mm x 155mm 5μm			360°   6寸


主要特点:
	1. 结构简单、多功能;
	2. 平台配置可满足DC、RF测量;
	3. 独特的模块化设计可根据客户的需要配置和升级;
	4. 量程大、可配暗箱、CCD等配件;

扩展功能:
	1、射频头部;
	2、探针卡端口;(出厂前配置)
	3、光电屏蔽箱;
	4、CCD视频系统;
	5、温控模块;(常温-300℃可选)
	6、EPS_FA可配置激光等。